Подъемники

Подъемники Hine Automation – современные подъемники со встроенным контроллером. Они обеспечивают точное позиционирование пластины для процессов, где захват осуществляется роботом с ограниченным вертикальным вылетом.

Подъемники HA‐50V/51V и Hatm‐50/51 предназначены для:

• Интеграции в любой шлюз загрузки с кассетой или рабочий модуль, требующий вертикального перемещения
• Позиционирования кассет с 25 или 50 пластинами
• Точного позиционирования подложки в пределах высокого вакуума или атмосферного давления
• Кассет с нестандартным весом

Особенности:

• Сильфоны из нержавеющей стали обеспечивают совместимость со всеми вакуумными средами
• Бесщеточный электродвигатель обеспечивает более высокие характеристики движения и улучшенную повторяемость
• Встроенный отказоустойчивый предохранитель препятствует движению при отключении питания и может быть настроен с помощью интерфейса управления