Установки плазменной обработки поверхности

Компания ЗЭНКО ПЛАЗМА является эксклюзивным дистрибьютором компании Femto Science Inc. (Ю.Корея) и поставляет установки плазменной обработки поверхности. Предлагаемые нами плазменные установки пользуются успехом в Европе, Америке, в Ю. Корее, Японии, Китае, Австралии, благодаря надежности конструкции, простоте использования и функциональности. Благодаря возможности плазменной обработки в различных газовых средах, таких как O₂, Ar, H₂, CF₄, SF₆ и регулируемому диапазону частот генератора плазмы (20 – 100 кГц), а также использование ВЧ-генератора с частотой 13,56 МГц, достигается широкий спектр применения данных установок для задач научно-исследовательских центров или промышленного производства.

Установки плазменной обработки Femto Science применяются для:

• Очистки подложек, стекла, керамики, печатных плат от поверхностных загрязнений;
• Плазменной активации поверхности (улучшения адгезивных свойств) перед процессами бондинга, напыления, пайки, микросварки;
• Создания гидрофильных/гидрофобных поверхностей;
• Травления фосфора, графена и других 2D-материалов в производстве микро и нано механических устройств, микрофлюидных чипов;
• Плазменного травления поликапролактоновых волокон покрытых коллагеном (PCL fibers coated with collagen), в области тканевой инженерии;
• Прецизионного плазменного травления слоя MoS в производстве однослойных MoS2 транзисторов;
• Обработки порошковых и гранулированных материалов;

Отличительной особенностью данных установок является технология изготовления рабочей камеры. Камера изготавливается из цельного алюминиевого блока путем прецизионной механической обработки (лапинг-процесс), с последующей ультразвуковой чисткой. Данная технология значительно снижает уровень утечки в вакууме, по сравнению с камерами из нержавеющей стали, изготовленными методом электродуговой сварки, и повышает качественные характеристики процесса плазменной обработки, т.к. алюминий обеспечивает лучшую электропроводность плазмы внутри системы в сравнении с нержавеющей сталью. Инновационный дизайн подачи газа в камеру обеспечивает равномерный поток газа во время процесса обработки, тем самым формируя равномерное распределение плазмы в объеме рабочей камеры. Установки могут иметь до 4 газовых линий с автоматическими РРГ (MFC), в зависимости от конфигурации (использование хлорной химии не допускается). Каждая установка оснащается линиями продувки и напуска (азот, СDA, атмосферный воздух) с разъемами 1/4" типа Swagelok. Цветной сенсорный дисплей 7" и доступное программное обеспечение, с возможностью создания и хранения до 10 рецептов, графическое отображение рабочих параметров в режиме реального времени (давление, мощность, время обработки и т.д.) и перенос данных на USB-флешку – все это не требует наличия специальных навыков персонала при работе с установкой, будь это инженер или студент университета. Установки плазменной обработки Femto Science полностью соответствует требованиям европейского союза в области безопасной эксплуатации.

ЗЭНКО ПЛАЗМА производит поставку, пуско-наладку, гарантийное и пост гарантийное обслуживание.

CUTE – настольная установка плазменной обработки низкого давления. Позволяет работать в ручном или автоматическом режиме с образцами размером до 100 х 100 мм. Установка оснащена генератором плазмы с диапазоном частот 20 – 100 кГц (с шагом 10 кГц) и мощностью до 100 Вт (200 Вт опционально). Применяется для очистки рабочих поверхностей, улучшения адгезии, создания гидрофильных/гидрофобных покрытий, плазменной обработки структур в таких областях как микро и нано электроника, биоинженерия, микрофлюидика, тканевая инженерия, производство электронных изделий на основе графена и 2D-материалов.

COVANCE – настольная установка плазменной обработки низкого давления. Позволяет работать в ручном или автоматическом режиме с образцами размером до 150 х 150 мм. Установка оснащена генератором плазмы с диапазоном частот 20 – 100 кГц и мощностью до 200 Вт. Возможна конфигурация с ВЧ-генератором 13,56 МГц, мощностью до 300 Вт. Применяется для очистки рабочих поверхностей, активации поверхности, процессов полимеризации, создания гидрофильных/гидрофобных покрытий, плазменной обработки структур в таких областях как микро и нано электроника, биоинженерия, микрофлюидика, тканевая инженерия, производство электронных изделий на основе графена и 2D-материалов.

COGRADE – настольная установка плазменной обработки низкого давления. Позволяет работать в ручном или автоматическом режиме с образцами размером до 225 х 275 мм. Установка оснащена генератором плазмы с диапазоном частот 20 – 100 кГц и мощностью до 300 Вт. Возможна конфигурация с ВЧ-генератором 13,56 МГц. Применяется для очистки рабочих поверхностей, активации поверхности, процессов полимеризации, создания гидрофильных/гидрофобных покрытий, плазменной обработки структур в таких областях как микро и нано электроника, биоинженерия, микрофлюидика, тканевая инженерия, производство электронных изделий на основе графена и 2D-материалов.

CIONE – установка плазменного травления. Данная установка предусматривает модельный ряд, состоящий из 3 моделей.

COWIN-40 – установка плазменной обработки поверхности.

LAVIDA-110H – установка для нанесения Париленовых покрытий. Парилен (Полипараксилилен) – уникальное влагозащитное покрытие. Плёнка формируется одновременно по всей поверхности подложки независимо от профиля её поверхности, и образует на ней защитный однородный по толщине слой. На данный момент достаточно широкое применение нашли три марки парилена: Parylene C, N, D.

LAVIDA-1000H – установка для нанесения Париленовых покрытий.

VITA – установка плазменной обработки низкого давления.

COWIN – установки плазменной обработки, изготовленные под индивидуальные требования. Установки изготавливаются с учетом габаритных размеров обрабатываемых деталей и требований производительности. Возможна конфигурация с несколькими электродами (Multi-electrode).