Настольная установка магнетронного напыления DSR1

DSR1 – настольная установка магнетронного напыления с одним магнетроном, диаметром 4" (100мм). Позволяет напылять благородные металлы: золото (Au), серебро (Ag), палладий (Pa), платина (Pt), а так же непроводящие материалы. Идеально подходит для подготовки образцов к сканирующей (SEM) и просвечивающей (TEM) электронной микроскопии.

Особенности:

• Простая конструкция и дружественный интерфейс позволяют оператору легко и быстро проводить обработку образцов
• Вакуумная камера диаметром 6" позволяет работать с кусочками образцов и п/п пластинами диаметром до 100мм
• Благодаря материалу Pyrex, можно легко производить очистку рабочей камеры
• Цветной, сенсорный экран позволяет просматривать лог-файлы последних 200 процессов напыления
• Графическое отображение давления, толщины и тока во время процесса позволяет с высокой точностью управлять процессом напыления
• Автоматический контроль
• Ручная и автоматическая обработка
• Напыление по времени или по требуемой толщине
• Высокоточная система контроля толщины на основе кварцевого датчика
• Защита от перегрева образца
• Прецизионный дозирующий клапан для подачи Ar в камеру
• Перенос параметров процесса на USB носитель