ДОСТАВКА ПО РОССИИ И СТРАНАМ СНГ
РЕЖИМ РАБОТЫ
09.00-18.00, пн-пт

Настольная установка магнетронного напыления DSR1

DSR1 – настольная установка магнетронного напыления с одним магнетроном, диаметром 4" (100мм). Позволяет напылять благородные металлы: золото (Au), серебро (Ag), палладий (Pa), платина (Pt), а так же непроводящие материалы. Идеально подходит для подготовки образцов к сканирующей (SEM) и просвечивающей (TEM) электронной микроскопии.

Особенности:

  • Простая конструкция и дружественный интерфейс позволяют оператору легко и быстро проводить обработку образцов
  • Вакуумная камера диаметром 6" позволяет работать с кусочками образцов и п/п пластинами диаметром до 100мм
  • Благодаря материалу Pyrex, можно легко производить очистку рабочей камеры
  • Цветной, сенсорный экран позволяет просматривать лог-файлы последних 200 процессов напыления
  • Графическое отображение давления, толщины и тока во время процесса позволяет с высокой точностью управлять процессом напыления
  • Автоматический контроль
  • Ручная и автоматическая обработка
  • Напыление по времени или по требуемой толщине
  • Высокоточная система контроля толщины на основе кварцевого датчика
  • Защита от перегрева образца
  • Прецизионный дозирующий клапан для подачи Ar в камеру
  • Перенос параметров процесса на USB носитель
 Технические характеристики
Вакуумная камераДиаметр 6", Высота 6"
Материал Pyrex
Диаметр магнетрона4" (опционально 2")
Источник питания магнетрона0-100 мА
Рабочее давление50-70 мТорр
Расстояние между магнетроном и подложкойРегулируемое, 3-8 см
Датчик давленияAтм - 1x10-4 мТорр
Газовая линияAr, с прецизионным регулятором
Система управленияНа основе PLC
Цветной, сенсорный экран 7"
Скорость осаждения0-40 нм/мин
Время осаждения0-5 мин
Питание220 Вт, 50 Гц, 6 А
Вес (без насоса)18 кг
Габаритные размеры
(ШxГхВ)
50см х 37см х 45см
ОпцииМасляный пластинчато-роторный насос производительностью 11м3/ч;
Вращающийся подложкодержатель;
Дополнительная камера (материал Pyrex);
Мишени из золота (Au), серебра (Ag), платины (Pt), палладия (Pa);
Кристаллы кварца для датчика толщины;